РЕГУЛИРОВАНИЕ МАГНИТНОГО ПОЛЯ В ПЕРЕНАСТРАИВАЕМОЙ МАГНЕТРОННОЙ РАСПЫЛИТЕЛЬНОЙ СИСТЕМЕ С МИШЕНЬЮ КОНЕЧНЫХ РАЗМЕРОВ
https://doi.org/10.21285/1814-3520-2018-1-159-167
Аннотация
ЦЕЛЬ. Расширение функциональных возможностей технологии магнетронного напыления материалов при обработке подложек сложной геометрии. МЕТОДЫ. Характер распределения составляющих магнитного поля определяется в перенастраиваемой магнетронной распылительной системе (ПНМРС), имеющей мишень конечной ширины, путем решения уравнения Лапласа. РЕЗУЛЬТАТЫ. Приведены теоретические зависимости составляющих магнитного поля в ПНМРС в зависимости от параметров ПНМРС и скорости перемещения катода-мишени. ЗАКЛЮЧЕНИЕ. Показана перспективность данного метода расчета магнитных полей в зазоре ПНМРС при напылении (обработке) протяженных подложек сложной геометрии (например, лопаток газотурбинного двигателя) при использовании вакуумной ионно-плазменной обработки.
Об авторах
А. Г. Дьяконов
Уфимский государственный авиационный технический университет
Россия
Россия
Р. К. Фаттахов
Уфимский государственный авиационный технический университет
Россия
Россия
Список литературы
1. Данилин Б.С., Сырчин В.К. Магнетронные распылительные системы. М.: Радиосвязь, 1982. 72 с.
2. Дьяконов А.Г. Магнитные поля в перенастраиваемой магнетронной распылительной системе // Вестник ИрГТУ. 2013. № 8 (79). С. 185-190.
3. Дьяконов А.Г., Лебедев В.А. Результаты теоретического и экспериментального определения магнитных полей в перенастраиваемой магнетронной распылительной системе // Вестник ИрГТУ. 2014. № 6 (89). С. 166-171.
4. Дьяконов А.Г., Фаттахов Р.К., Лебедев В.А. Динамическое регулирование магнитного поля в перенастраиваемой магнетронной распылительной системе // Вестник ИрГТУ, 2016. № 5 (112). С. 105-119.
5. Вольдек А.И. Индукционные магнитогидродинамические машины с жидкометаллическим рабочим телом. Л.: Энергия, 1970. 272 с.
6. Охременко Н.М. Основы теории и проектирования линейных индукционных насосов для жидких металлов. М.: Атомиздат, 1968. 396 с.
Рецензия
Для цитирования:
Дьяконов А.Г., Фаттахов Р.К. РЕГУЛИРОВАНИЕ МАГНИТНОГО ПОЛЯ В ПЕРЕНАСТРАИВАЕМОЙ МАГНЕТРОННОЙ РАСПЫЛИТЕЛЬНОЙ СИСТЕМЕ С МИШЕНЬЮ КОНЕЧНЫХ РАЗМЕРОВ. Вестник Иркутского государственного технического университета. 2018;22(1):159-167. https://doi.org/10.21285/1814-3520-2018-1-159-167
For citation:
Dyakonov A.G., Fattakhov R.K. MAGNETIC FIELD REGULATION IN THE RETUNED MAGNETRON SPUTTERING SYSTEM WITH A TARGET OF FINAL SIZES. Proceedings of Irkutsk State Technical University. 2018;22(1):159-167. (In Russ.) https://doi.org/10.21285/1814-3520-2018-1-159-167
Просмотров:
249
Послать статью по эл. почте 